Verfahren zur Herstellung eines Elektroakustischen Transducers

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3975588

Aktenzeichen

EP21199065

Anmeldetag

27. September 2021

Veröffentlichung

12. Juli 2023

Erteilung

12. Juli 2023

Rechtsraum

EP

IPC

H04R31/00B81C1/00// H04R19/00

Abstract

L'invention concerne un procédé de fabrication d'un transducteur électroacoustique (1) comprenant : - un bâti ; - un élément mobile (13) par rapport au bâti, l'élément mobile (13) comprenant une membrane (131) et une structure de rigidification (132) de la membrane ; - un premier bras de transmission, l'élément mobile (13) étant couplé à une extrémité du premier bras de transmission ; procédé dans lequel un bouclier (24b) est utilisé pour protéger la structure de rigidification (132) lors d'une étape (S7) de gravure d'un substrat (21), la gravure du substrat permettant de délimiter le premier bras de transmission et d'alléger l'élément mobile (13).

Anmelder

Firma

Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives

Land

🇫🇷 Frankreich

Fachgebiete