Verfahren und Systeme zur Adsorption Organometallischer Dämpfe

EP3976231 Art A1 6. April 2022

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3976231
Aktenzeichen
EP20814991
Anmeldetag
20. Mai 2020
Veröffentlichung
6. April 2022
Rechtsraum
EP
IPC
B01D53/04B01J20/08B01J20/10B01J20/20B01J20/28C23C16/44
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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