Wafer mit Gan-Substrat und Herstellungsverfahren dafür

EP3978658 Art A1 6. April 2022

Anmelder: Mitsubishi Chemical Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3978658
Aktenzeichen: EP20814497
Anmeldetag: 28. Mai 2020
Veröffentlichung: 6. April 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C30B25/18C30B25/20H01L21/205C30B29/40H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Chemical Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Das Unternehmen entwickelt Grund- und Spezialchemikalien, Kunststoffe, Materialien für Elektronik und Energiespeicher sowie Pharma- und Life-Science-Produkte.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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