Verfahren zur Herstellung eines Gruppe-Iii-Verbundsubstrats und Gruppe-Iii-Verbundsubstrat

EP3978659 Art A1 6. April 2022

Anmelder: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3978659
Aktenzeichen: EP20814676
Anmeldetag: 1. Mai 2020
Veröffentlichung: 6. April 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C30B29/38C23C16/458C30B25/12C30B25/18H01L21/205C23C16/01C23C16/30C23C16/455C30B29/40H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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