Verfahren und System zur Korrektur von Parasitären Zweizähliger Aberrationen der Fünften Ordnung in Systemen mit Geladenen Teilchen
EP3979296
Art A3
13. April 2022
Anmelder: FEI Company 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3979296
- Aktenzeichen
- EP21199311
- Anmeldetag
- 28. September 2021
- Veröffentlichung
- 13. April 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/153
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI Company
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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