Ätzverfahren und Ätzvorrichtung

EP3985714 Art A1 20. April 2022

Anmelder: Tokyo Electron Limited, Université D'Orléans 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3985714
Aktenzeichen: EP20822819
Anmeldetag: 2. Juni 2020
Veröffentlichung: 20. April 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3065H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
Université D'Orléans
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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