Verfahren zur Formung eines Halbleiterbauelements sowie Halbleiterbauelement

EP3989273 Art A1 27. April 2022

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3989273
Aktenzeichen: EP20202767
Anmeldetag: 20. Oktober 2020
Veröffentlichung: 27. April 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/8234H01L21/8238H01L29/06H01L29/775

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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