Zusammensetzungen mit Silacycloalkanen und Verfahren zur Verwendung davon zur Abscheidung von Siliciumhaltigem Film
Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3990676
- Aktenzeichen
- EP20843882
- Anmeldetag
- 24. Juli 2020
- Veröffentlichung
- 4. Mai 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02C23C16/34C23C16/30C23C16/32C23C16/40C23C16/04C23C16/50C23C16/56C23C16/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Versum Materials US, LLC
- Land
- 🇺🇸 USA
Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.
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