Verfahren zur Verwendung von Laserenergie zur Entfernung von Partikeln von einer Oberfläche

EP3994719 Art A1 11. Mai 2022

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3994719
Aktenzeichen
EP20834923
Anmeldetag
1. Juli 2020
Veröffentlichung
11. Mai 2022
Rechtsraum
EP
IPC
B23K26/36B08B3/12B08B7/00B23K26/362B23K103/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen