Lithografisches Herstellungsverfahren
Anmelder: Centre national de la recherche scientifique, Ecole Supérieure de Physique et de Chimie Industrielles de la Ville de Paris, SORBONNE UNIVERSITE 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3994720
- Aktenzeichen
- EP20739284
- Anmeldetag
- 30. Juni 2020
- Veröffentlichung
- 2. August 2023
- Erteilung
- 2. August 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027H01L29/66H01L29/786
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Centre national de la recherche scientifique
Ecole Supérieure de Physique et de Chimie Industrielles de la Ville de Paris
SORBONNE UNIVERSITE - Land
- 🇫🇷 Frankreich
Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.
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Die Sorbonne Université ist eine Pariser Universität, die aus dem Zusammenschluss der Universitäten Paris-Sorbonne und Pierre-et-Marie-Curie hervorging und in Natur-, Geistes- und Gesundheitswissenschaften forscht und lehrt.
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