Lithografisches Herstellungsverfahren

EP3994720 Art B1 2. August 2023

Anmelder: Centre national de la recherche scientifique, Ecole Supérieure de Physique et de Chimie Industrielles de la Ville de Paris, SORBONNE UNIVERSITE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3994720
Aktenzeichen
EP20739284
Anmeldetag
30. Juni 2020
Veröffentlichung
2. August 2023
Erteilung
2. August 2023
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/027H01L29/66H01L29/786
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Centre national de la recherche scientifique
Ecole Supérieure de Physique et de Chimie Industrielles de la Ville de Paris
SORBONNE UNIVERSITE
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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🇫🇷 Sorbonne Université

Die Sorbonne Université ist eine Pariser Universität, die aus dem Zusammenschluss der Universitäten Paris-Sorbonne und Pierre-et-Marie-Curie hervorging und in Natur-, Geistes- und Gesundheitswissenschaften forscht und lehrt.

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