Zusammensetzung, deren Verwendung und Verfahren zum Selektiven Ätzen von Silicium-Germanium-Material

EP3997193 Art B1 3. Mai 2023

Anmelder: BASF SE 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3997193
Aktenzeichen: EP20733993
Anmeldetag: 19. Juni 2020
Veröffentlichung: 3. Mai 2023
Erteilung: 3. Mai 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C09K13/00C09K13/08H01L21/306

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: BASF SE
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 BASF

Deutscher Chemiekonzern mit Sitz in Ludwigshafen, gegründet 1865. Entwickelt und produziert Chemikalien, Kunststoffe, Agrarprodukte und Materialien für zahlreiche Industriezweige.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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