Plasmaüberwachungsverfahren und -Vorrichtung

EP3997445 Art B1 11. März 2026

Anmelder: Gencoa Ltd 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3997445
Aktenzeichen: EP19708633
Anmeldetag: 21. Februar 2019
Veröffentlichung: 11. März 2026
Erteilung: 11. März 2026
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/73G01L21/30C23C14/34G01L27/00H01J37/32// G01N21/84

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Gencoa Ltd
Land: 🇬🇧 Großbritannien

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von

Hutchinson, Thomas Owen Nice, Frankreich

152

Patente gesamt

29

Fachgebiete

11

Anmelder-Länder

Schwerpunkte

Medizintechnik & Gesundheit Nachrichtentechnik & Telekommunikation Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Haushalts-, Möbel- & Konsumgüter

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