Substratformmessvorrichtung
EP3997517
Art A1
18. Mai 2022
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3997517
- Aktenzeichen
- EP20730652
- Anmeldetag
- 8. Juni 2020
- Veröffentlichung
- 18. Mai 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G01B11/30H01L21/67H01L21/687
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Nouwens, Johannes Wilhelmus Henricus
Veldhoven, Niederlande
7
Patente gesamt
5
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte