Spülung und Verfahren zu Ihrer Verwendung für die Entfernung von Kantenschutzschichten und Restmetallhartmaskenkomponenten
EP3997520
Art B1
20. Dezember 2023
Anmelder: Merck Patent GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3997520
- Aktenzeichen
- EP20737150
- Anmeldetag
- 6. Juli 2020
- Veröffentlichung
- 20. Dezember 2023
- Erteilung
- 20. Dezember 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/42G03F7/09H01L21/02H01L21/027H01L21/311
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Merck Patent GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Merck KGaA
Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.
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Mannheim, Deutschland
Mannheimer Patentanwaltskanzlei mit fachlich-wissenschaftlichem Team in Chemie, Verfahrenstechnik, Polymeren und Kunststofftechnik, Biotech, Pharma und Life Sciences, Mechanik und Optik sowie Elektrotechnik, Digital und KI.
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