Vakuumbogen-Kathodenquelle für Plasma mit Verbesserter Magnetfeldkonfiguration und Verfahren zu deren Betrieb

EP3997965 Art A1 18. Mai 2022

Anmelder: Staton S.R.O. 🇸🇰

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3997965
Aktenzeichen
EP19937103
Anmeldetag
16. Juli 2019
Veröffentlichung
18. Mai 2022
Rechtsraum
EP
IPC
H05H1/50C23C14/24C23C14/32H01J37/32H01J37/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Staton S.R.O.
Land
🇸🇰 Slowakei

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