Ionisationsmessgerät und Kartusche dafür

EP3998466 Art B1 1. November 2023

Anmelder: Canon Anelva Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3998466
Aktenzeichen: EP19944839
Anmeldetag: 13. September 2019
Veröffentlichung: 1. November 2023
Erteilung: 1. November 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G01L21/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Canon Anelva Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon Anelva

Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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