Verfahren zur Bestimmung der Energiebreite eines Geladenen Teilchenstrahls
EP4002420
Art A1
25. Mai 2022
Anmelder: FEI Company 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4002420
- Aktenzeichen
- EP20207192
- Anmeldetag
- 12. November 2020
- Veröffentlichung
- 25. Mai 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/26
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI Company
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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