Modulationsvorrichtung, Ansteuervorrichtung, Optisches System, Lithographieanlage und Verfahren

EP4005092 Art A1 1. Juni 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4005092
Aktenzeichen: EP20743618
Anmeldetag: 14. Juli 2020
Veröffentlichung: 1. Juni 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H03K7/08H03K11/00// H02P27/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Elektronik & Schaltungstechnik

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