Vakuumbehandlungsvorrichtung

EP4006195 Art A1 1. Juni 2022

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4006195
Aktenzeichen
EP20842937
Anmeldetag
11. März 2020
Veröffentlichung
1. Juni 2022
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/34B25J9/06H01J37/32C23C14/56H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ULVAC, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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