Verfahren zum Steigern der Oberlächenrauhigkeit einer Metallschicht

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4006957

Aktenzeichen

EP21210675

Anmeldetag

26. November 2021

Veröffentlichung

23. Oktober 2024

Erteilung

23. Oktober 2024

Rechtsraum

EP

IPC

H01L21/3213H01L21/768

Abstract

L'invention concerne un procédé pour augmenter la rugosité de surface d'une couche métallique (10), comprenant les étapes suivantes :- déposer sur la couche métallique (10) une couche sacrificielle (11) en un matériau diélectrique comprenant de l'azote ;- exposer une surface de la couche sacrificielle (11) à un plasma de gravure de façon à créer des aspérités (12) ;- graver (S13) la couche métallique (10) à travers la couche sacrificielle (11), de façon à transférer les aspérités (12) de la couche sacrificielle dans une partie au moins de la couche métallique.

Anmelder

Firma

Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives

Land

🇫🇷 Frankreich

Fachgebiete