Trägersystem, Belichtungseinrichtung, Trägerverfahren, Belichtungsverfahren, Vorrichtungsherstellungsverfahren und Saugvorrichtung

EP4009356 Art A1 8. Juni 2022

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4009356
Aktenzeichen: EP21209861
Anmeldetag: 27. November 2013
Veröffentlichung: 8. Juni 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/68H01L21/67H01L21/683H01L21/687G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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