Mehrlagige Schutzschicht für die Verarbeitung von Kammerkomponenten

EP4010916 Art A1 15. Juni 2022

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4010916
Aktenzeichen: EP20851743
Anmeldetag: 22. Juni 2020
Veröffentlichung: 15. Juni 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32C23C28/00C23C16/44C23C16/455C23C16/40C23C16/34C23C28/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von