Verfahren zum Filtern von Polierzusatzhaltiger Flüssigkeit, Polierzusatzhaltige Flüssigkeit, Poliermittel, Verfahren zur Produktion eines Poliermittels und Filter

EP4011552 Art A1 15. Juni 2022

Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4011552
Aktenzeichen
EP20849840
Anmeldetag
30. Juli 2020
Veröffentlichung
15. Juni 2022
Rechtsraum
EP
IPC
B24B57/02C09G1/02B24B37/00H01L21/304B24B23/02B24B49/00B24B55/12H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Fujimi Incorporated
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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