Heizvorrichtung und Verfahren zur Led-Steuerung

EP4012425 Art B1 21. August 2024

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4012425
Aktenzeichen: EP21212788
Anmeldetag: 7. Dezember 2021
Veröffentlichung: 21. August 2024
Erteilung: 21. August 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G01R31/28H01L21/67H05B45/18H05B47/28H05B3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von