Phase und Verfahren zur Temperaturregelung eines Substrats
EP4012752
Art A1
15. Juni 2022
Anmelder: NHK Spring Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4012752
- Aktenzeichen
- EP20850947
- Anmeldetag
- 28. Juli 2020
- Veröffentlichung
- 15. Juni 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3065H01L21/683H01L21/67H01L21/687C23C14/54C23C16/458C23C16/46H01L21/677C23C14/50H01J37/32H05B1/02H05B3/30
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- NHK Spring Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
NHK Spring
Japanischer Automobilzulieferer mit Sitz in Yokohama, spezialisiert auf Federungssysteme, Sitzkomponenten und Festplattenaufhängungen.
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