Stromversorgungs- und Prüfvorrichtung

EP4013186 Art B1 10. September 2025

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4013186
Aktenzeichen: EP21212461
Anmeldetag: 6. Dezember 2021
Veröffentlichung: 10. September 2025
Erteilung: 10. September 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H05B1/02G01R31/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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