Planarisierungsverfahren, Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Artikels

EP4014248 Art A1 22. Juni 2022

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4014248
Aktenzeichen: EP20852083
Anmeldetag: 17. Juli 2020
Veröffentlichung: 22. Juni 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3105B28D5/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CANON KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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