Diffraktives Optisches Element für ein Prüfinterferometer

EP4018154 Art A1 29. Juni 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4018154
Aktenzeichen: EP20764950
Anmeldetag: 13. August 2020
Veröffentlichung: 29. Juni 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G01B9/02G01B11/24G01M11/00G01B11/06G01N21/47G01Q60/24G02B5/18G03H1/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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