Alkoholverbindung, Chemisch Verstärkte Negativresistzusammensetzung und Verfahren zur Herstellung eines Resistmusters

EP4019489 Art A1 29. Juni 2022

Anmelder: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4019489
Aktenzeichen: EP21216712
Anmeldetag: 22. Dezember 2021
Veröffentlichung: 29. Juni 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C07C43/23C07C69/44C07C69/712C07C69/76C07C69/82C08L33/26C08L33/16G03F7/038

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Fachgebiete

Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik Organische Chemie

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