Elektronenstrahl-Pvd-Endpunkt-Detektion und Prozesssteuerungssysteme mit Geschlossenem Regelkreis

EP4022251 Art A2 6. Juli 2022

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4022251
Aktenzeichen: EP20875976
Anmeldetag: 17. August 2020
Veröffentlichung: 6. Juli 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G01B11/06C23C14/30C23C14/50C23C14/52C23C14/54// G01J3/44G01J5/00G01J5/60G02B21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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