Halbleiterbehandlungsflüssigkeit für Ruthenium und Verfahren zur Herstellung Derselben
EP4023791
Art B1
11. Oktober 2023
Anmelder: Tokuyama Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4023791
- Aktenzeichen
- EP20867042
- Anmeldetag
- 8. Juli 2020
- Veröffentlichung
- 11. Oktober 2023
- Erteilung
- 11. Oktober 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23F1/40H01L21/308H01L21/3213
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Tokuyama Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokuyama
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Shunan, gegründet 1918. Produziert unter anderem Spezialchemikalien, Zement und Halbleitermaterialien.
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Kanzlei
Withers & Rogers
München, Deutschland
Withers & Rogers zählt zu Europas größten IP-Kanzleien und ist neben Großbritannien auch in Paris und seit 2019 in München vertreten. Ihre erklärte Aufgabe: Mandanten den oft unübersichtlichen europäischen IP-Schutz verständlich zu machen.
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