Beugungsgitter, Herstellungsverfahren für Beugungsgitter und Photomaske

EP4024094 Art A1 6. Juli 2022

Anmelder: Hitachi High-Tech Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4024094
Aktenzeichen: EP20857062
Anmeldetag: 21. Februar 2020
Veröffentlichung: 6. Juli 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G02B5/18G03F7/20B29D11/00B29C59/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Tech Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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