Verfahren zur Fokussierungspositionsdetektion, Vorrichtung zur Fokussierungspositionsdetektion, Programm zur Fokussierungspositionsdetektion und Aufzeichnungsmedium

EP4027181 Art B1 26. März 2025

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4027181
Aktenzeichen
EP21213026
Anmeldetag
8. Dezember 2021
Veröffentlichung
26. März 2025
Erteilung
26. März 2025
Rechtsraum
EP
IPC
G02B7/38G02B21/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Kanzlei
Boehmert & Boehmert München, Deutschland

Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.

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