Vorrichtung zur Nassbearbeitung eines Planaren Werkstücks, Vorrichtung für eine Zelle der Vorrichtung und Verfahren zum Betreiben der Vorrichtung

EP4028582 Art A1 20. Juli 2022

Anmelder: Atotech Deutschland GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4028582
Aktenzeichen: EP20767849
Anmeldetag: 11. September 2020
Veröffentlichung: 20. Juli 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C25D5/08C25D7/00C25D7/06C25D17/00C25D17/02C25D7/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Atotech Deutschland GmbH & Co. KG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Atotech Deutschland

Atotech Deutschland ist ein deutscher Anbieter von Oberflächenveredelungschemie, unter anderem für die Elektronik- und Halbleiterindustrie, und gehört zum US-Konzern MKS Instruments. Das Patentportfolio konzentriert sich deutlich auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Elektronik und Halbleitertechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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