Messsystem und Gittermusteranordnung

EP4028722 Art A1 20. Juli 2022

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4028722
Aktenzeichen: EP20863414
Anmeldetag: 25. August 2020
Veröffentlichung: 20. Juli 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G01B11/25G02B27/01G01B11/02G02B5/18G01N21/88G01N21/95G01N21/956

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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