Element für eine Halbleiterreinigungsvorrichtung

EP4030466 Art A1 20. Juli 2022

Anmelder: Daikin Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4030466
Aktenzeichen: EP20880184
Anmeldetag: 5. Oktober 2020
Veröffentlichung: 20. Juli 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/304B29C70/06H01L21/67B29C70/12H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Daikin Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Daikin Industries

Japanischer Hersteller von Klima- und Kältetechnik mit Sitz in Osaka. Daikin entwickelt Klimaanlagen, Wärmepumpen, Kältemittel und Fluorchemikalien für Gebäude- und Industrieanwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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