Anordnung zum Plasmasputtern mit einem Magnetron

EP4032114 Art A1 27. Juli 2022

Anmelder: Danmarks Tekniske Universitet 🇩🇰

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4032114
Aktenzeichen: EP20775266
Anmeldetag: 17. September 2020
Veröffentlichung: 27. Juli 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/34C23C14/35

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Danmarks Tekniske Universitet
Land: 🇩🇰 Dänemark

🇩🇰 Danmarks Tekniske Universitet

Dänische Technische Universität mit Sitz in Kongens Lyngby (DK), eine der führenden Ingenieurs- und Naturwissenschaftshochschulen des Landes. Die Patente stammen aus universitärer Forschung in Technik und Naturwissenschaften.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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