Verfahren und Vorrichtung zur Abscheidung von Dielektrischem Material

EP4032117 Art A1 27. Juli 2022

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4032117
Aktenzeichen: EP20865762
Anmeldetag: 21. September 2020
Veröffentlichung: 27. Juli 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/04C23C16/32C23C16/34C23C16/40C23C16/452C23C16/455C23C16/509C23C16/515C23C16/517H01J37/32H01L21/02H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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