Steckeranordnung, System und Lithographieanlage

EP4032148 Art A1 27. Juli 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4032148
Aktenzeichen: EP20764358
Anmeldetag: 27. August 2020
Veröffentlichung: 27. Juli 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01R12/91G03F7/00H05K7/02H01R12/70H01R13/631

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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