Vakuumkomponenten aus Polymerverbundmaterial
Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4033216
- Aktenzeichen
- EP22160952
- Anmeldetag
- 13. Januar 2016
- Veröffentlichung
- 27. Juli 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01L21/30
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- MKS Instruments, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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Fachgebiete
Page White Farrer, Kanzlei für europäisches Patent- und Markenrecht mit Standorten in London, Leeds, Exeter und München. Berät zu Patenten, Marken, Design und IP-Strategie und richtet sich an Mandanten von Start-ups bis zu internationalen Unternehmen.
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