Vakuumkomponenten aus Polymerverbundmaterial

EP4033216 Art A1 27. Juli 2022

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4033216
Aktenzeichen
EP22160952
Anmeldetag
13. Januar 2016
Veröffentlichung
27. Juli 2022
Rechtsraum
EP
IPC
G01L21/30
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
MKS Instruments, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Page White Farrer, Kanzlei für europäisches Patent- und Markenrecht mit Standorten in London, Leeds, Exeter und München. Berät zu Patenten, Marken, Design und IP-Strategie und richtet sich an Mandanten von Start-ups bis zu internationalen Unternehmen.

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