Verfahren zur Analyse Und/oder Verarbeitung eines Objekts sowie Teilchenstrahlvorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
EP4033515
Art A1
27. Juli 2022
Anmelder: Carl Zeiss Microscopy GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4033515
- Aktenzeichen
- EP22153123
- Anmeldetag
- 20. Juli 2015
- Veröffentlichung
- 27. Juli 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/147H01J37/20H01J37/26H01J37/304
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss Microscopy GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Fachgebiete
Vertreten von
Tongbhoyai, Martin
Köln, Deutschland
90
Patente gesamt
24
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte