Vorrichtung, System und Verfahren zur Erzeugung und Bereitstellung einer Topografischen Zielkarte zur Feinbearbeitung eines Fotomaskenrohlings mit Funktionellen Anforderungen an die Ebenheit

EP4034943 Art A1 3. August 2022

Anmelder: Corning Incorporated 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4034943
Aktenzeichen: EP20867001
Anmeldetag: 17. September 2020
Veröffentlichung: 3. August 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/60G03F1/84G03F1/72G03F1/22G06T7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Corning Incorporated
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Corning

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Corning, New York. Corning ist spezialisiert auf Spezialglas, Keramik und optische Fasern für Displays, Telekommunikation, Automobiltechnik, Life Sciences und Umwelttechnik.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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