Membranen mit Reduzierter Partikelbildung

EP4037813 Art A1 10. August 2022

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4037813
Aktenzeichen
EP20872884
Anmeldetag
21. September 2020
Veröffentlichung
10. August 2022
Rechtsraum
EP
IPC
B01D69/12B01D69/10B01D71/68B01D71/64B01D71/34B01D65/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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