Verfahren zur Herstellung eines Yttriumoxid-Haltigen Films

EP4039847 Art A1 10. August 2022

Anmelder: Adeka Corporation, ADEKA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4039847
Aktenzeichen
EP20873107
Anmeldetag
24. September 2020
Veröffentlichung
10. August 2022
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/18C23C16/40C23C16/455H01L21/31H01L21/316
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Adeka Corporation
ADEKA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ADEKA Corporation

ADEKA Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das Additive für Kunststoffe, Lebensmittelzutaten und Spezialchemikalien herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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