Mikrowellenmagnetron mit Konstanter Anodischer Impedanz und Diesen Verwendende Systeme

EP4042464 Art A1 17. August 2022

Anmelder: MKS Inc., MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4042464
Aktenzeichen
EP20870746
Anmeldetag
17. Juli 2020
Veröffentlichung
17. August 2022
Rechtsraum
EP
IPC
H01J23/05H01J23/10H01J23/20C23C14/35C23C16/27C23C16/511H01J23/38H01J25/58H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
MKS Inc.
MKS Instruments, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Kanzlei
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Kleine, traditionell arbeitende Patentanwaltskanzlei mit Standorten in Wellesley in den USA und London, begleitet US- und europäische Patentverfahren, Übertragungs- und Lizenzverträge sowie vorbereitende Untersuchungen zu Patentverletzungen im Hinblick auf das Einheitliche Patentgericht.

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