Verfahren zur Gerichteten Selbstmontage-Lithografie

EP4042471 Art A1 17. August 2022

Anmelder: ARKEMA FRANCE, Centre national de la recherche scientifique, UNIVERSITE DE BORDEAUX, Institut Polytechnique de Bordeaux, Université Grenoble Alpes 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4042471
Aktenzeichen: EP20799784
Anmeldetag: 15. Oktober 2020
Veröffentlichung: 17. August 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ARKEMA FRANCE
Centre national de la recherche scientifique
UNIVERSITE DE BORDEAUX
Institut Polytechnique de Bordeaux
Université Grenoble Alpes
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Arkema

Französischer Chemiekonzern mit Sitz bei Paris. Arkema entwickelt Spezialchemikalien, Hochleistungspolymere, Klebstoffe und Beschichtungsmaterialien für Industrie, Bauwesen, Elektronik und Konsumgüter.

1.736 Patente in unserer Datenbank

🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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🇫🇷 Université Grenoble Alpes

Französische Universität mit Sitz in Grenoble, entstanden aus Zusammenschluss mehrerer Hochschulen, mit Lehre und Forschung in Natur-, Ingenieur-, Geistes- und Sozialwissenschaften.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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