Chemisch Verstärkte Negative Resistzusammensetzung und Resistmusterbildungsverfahren

EP4047417 Art B1 16. August 2023

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4047417
Aktenzeichen: EP22155320
Anmeldetag: 7. Februar 2022
Veröffentlichung: 16. August 2023
Erteilung: 16. August 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/038

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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