Verfahren zur Abscheidung von Pvd-Schichten Hoher Qualität

EP4048824 Art A1 31. August 2022

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4048824
Aktenzeichen: EP20879927
Anmeldetag: 10. September 2020
Veröffentlichung: 31. August 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34C23C14/54C23C14/16C23C14/58C23C14/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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