Sublimationsampulle mit Füllstandsmessung

EP4048825 Art A1 31. August 2022

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4048825
Aktenzeichen
EP20878968
Anmeldetag
8. Oktober 2020
Veröffentlichung
31. August 2022
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/448G01F23/00G01F23/74G01F23/76
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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