Anordnung in einem Optischen System, insbesondere einem Mikrolithografischen Projektionsbelichtungsgerät
EP4049088
Art B1
4. Oktober 2023
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4049088
- Aktenzeichen
- EP20764005
- Anmeldetag
- 11. August 2020
- Veröffentlichung
- 4. Oktober 2023
- Erteilung
- 4. Oktober 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00G03F7/20G01N17/00G01N27/02G02B7/22G02B7/195G02B27/18G01R27/22
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Frank, Hartmut
Mülheim a. d. Ruhr, Deutschland
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